本公司拥有丰富的半导体业chiller维修与性能改进FAB厂各种chiller经验,chiller型式如:ATS、AMAT、Affinity、COSAM、C-TEC、EDWARDS、LAM、M/W、NESLAB、RISSHI、SHINWA、SMC、TAITEC…等。制程监测能力之改善,如加装flow meter,temp. sensor or other related with process solution。各项DI Filter,Cartridge 更换。