本公司拥有丰富的半导体业chiller维修与性能改进FAB厂各种chiller经验，chiller型式如：ATS、AMAT、Affinity、COSAM、C-TEC、EDWARDS、LAM、M/W、NESLAB、RISSHI、SHINWA、SMC、TAITEC…等。制程监测能力之改善，如加装flow meter，temp. sensor or other related with process solution。各项DI Filter，Cartridge 更换。 [详细介绍]